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      新聞詳情

      在線CVD法生產(chǎn)單向透視玻璃的工作原理及工藝流程
       發(fā)布時間:2015年08月31日 瀏覽:6034

      在線CVD制備硅質(zhì)膜技術(shù)是以硅烷、乙烯為原料,浮法錫槽為制備硅質(zhì)膜提供了適合的溫度和還原性氣氛。硅烷、乙烯和氮氣按一定比例進入安置在玻璃板上面的反應(yīng)器,并以穩(wěn)定的層流方式流過玻璃板表面,這時,硅烷借助反應(yīng)器的特殊結(jié)構(gòu),并在還原氣氛的條件下,溫度超過400℃時開始分解,形成產(chǎn)物是無定形硅,當溫度超過600℃時,形成多晶硅。多晶硅沉積在玻璃表面形成硅質(zhì)膜層,同時硅烷反應(yīng)后產(chǎn)生的氫被乙烯吸附,生產(chǎn)乙烷和甲烷。這些多余氣體和呈褐色的多余硅質(zhì)粉一起從反應(yīng)器兩側(cè)的排氣孔排走,其化學(xué)反應(yīng)式如下:

      SiH4Si+H

      C2H4+HC2O6(CH)

      浮法玻璃在線鍍硅質(zhì)膜生產(chǎn)工藝示意圖見4-19.

      在線鍍硅質(zhì)膜生產(chǎn)工藝示意

      混合氣體經(jīng)由反應(yīng)器以層流方式流向玻璃板,經(jīng)過擴散、吸附、熱分解和氫解吸附,從而在玻璃板上沉積形成多晶硅膜。

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